項目編號 : 0762-2440CBNB2033（CBNB-20242532）
公布日期 : 2024-10-24
受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024年10月24日在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1. 招標條件
項目概況：甬江實驗室因發展需要，需采購半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機各1套。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。
2. 招標內容：
招標項目編號：0762-2440CBNB2033
招標項目名稱：甬江實驗室采購半自動槽式SPM清洗機等五項設備項目
項目實施
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2
半自動槽式有機清洗設備
1套
主要用于金屬刻蝕或其他器件干法刻蝕后光刻膠的去除或清洗工藝。
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3
手動片盒清洗機
1套
對所使用的晶圓片盒進行定期清洗。
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4
半自動槽式KOH刻蝕機
1套
常用于硅片表面V型槽刻蝕、金字塔或者倒金字塔結構刻蝕等應用。
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5
半自動槽式BOE刻蝕機
1套
主要用于半導體器件制造過程中的SiO2 濕法刻蝕以及清洗工藝。
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*備注：投標人必須對表中所有貨物進行投標，否則作無效標處理。
3. 投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績：投標人必須是投標產品（半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機）的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；
是否接受聯合體投標：不接受；
未領購招標文件是否可以參加投標：不可以。
4.
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來源：中國電力招標采購網?編輯：cbbiddin