對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2023-12-04在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上海交通大學擬采購1套電子束光刻系統，電子束光刻機可以用于電子束光刻工藝并用于制備納米結構器件。資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0773-2341SHHW0112招標項目名稱:上海交通大學電子束光刻系統項目實施地點:中國上海市招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	電子束光刻系統	1套	*2.1.6 配備激光干涉工作臺，XY方向運動行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉儀測量分辨率不大于1nm。*2.1.6 LIS is included in the system. XY: no less than 150 mm×150 mm. Laser interferometer measurement resolution: no larger than 1nm.其余詳見招標文件。	預算金額：人民幣1000.00萬元。 最高限價：人民幣1000.00萬元。 交貨期：簽訂合同后12個月內 交付 郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網上轉賬憑證。發 5、投標文件的遞交投標截止時間（開標時間）:2023-12-26 10:30投標文件 評標結果將在必聯網和 公示。7、聯系方式招標人:上海交通大學地址:上海市閔行區東川路800號

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