對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標，于2023-11-24在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上海交通大學采購1套感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)，該設備通過感應耦合等離子體（ICP）方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內(nèi)容招標項目編號:0773-2341SHHW0110招標項目名稱:上海交通大學感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)項目實施地點:中國上海市招標產(chǎn)品列表(主要設備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術規(guī)格	備注
1	感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)（ICPECVD)	1套	2.1 反應腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能。★2.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術規(guī)格”	預算金額：人民幣335.00萬元。 最高限價：人民幣335.00萬元。 交貨期：簽訂合同后11個月內(nèi) 交付 郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā) 5、投標文件的遞交投標截止時間（開標時間）:2023-12-15 09:30投標文件 評標結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和 公示。7、聯(lián)系方式招標人:上海交通大學地址:上海市閔行區(qū)東川路800號

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項目 聯(lián)系人：李楊  
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