項目概況

東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心無掩膜激光直寫光刻機采購 招標項目的潛在投標人應在南京市建鄴區(qū)新城科技園嘉陵江東街8號綜合體B3棟16層

一、項目基本情況

項目編號：JSHC-2021090615C6

項目

預算金額：504.0000000 萬元（人民幣）

采購需求：

東南大學微納系統(tǒng)國際創(chuàng)新中心采購無掩膜激光直寫光刻機一臺（套），主要技術要求如下：

1.設備組成：1、溫控防塵罩；2、高精密透鏡模塊及DMD模塊；3、半導體激光器（Diode Laser）；4、工作平臺裝置；5、定位激光干涉儀；6、主機電器控制裝置；7、圖形轉換軟件及系統(tǒng)操作計算機；8、大理石或花崗巖機座及氣浮減震裝置。

2.須具備兩種不同波長的光源；曝光用光源及波長：(1) 405nm Diode Laser；(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直寫速度：在100×100mm的刻寫幅面下，須達到≤35 min；可進行128階灰度曝光；配置高深寬比模塊，透過調(diào)整聚焦深度，以優(yōu)化膜厚較厚的光刻膠側壁粗造度；配置單元圖形對準功能，對晶圓上的各個單元圖形進行逐一對準，并對每個單元圖形進行逐一曝光。

最大直寫面積≥ 200mm x 200mm；配置背向對準功能，背向對準精度≤1000nm。

合同履行期限：詳見采購文件

本項目( 不接受  )聯(lián)合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

非專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：無

三、 （北京時間，法定節(jié)假日除外）

獲取采購文件

售價：￥600.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2021年11月05日 14點30分（北京時間）

開標時間：2021年11月05日 14點30分（北京時間）

六、

未曾在中國電力招標采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相關說明下載招標文件！

項目 聯(lián)系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：18811547188
QQ:1211306049 


備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告并下載資格預審范圍，資質(zhì)要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區(qū)招標信息詳細內(nèi)容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

來源：中國電力招標采購網(wǎng)?編輯：mof.go