| 公告信息： | |||
| 采購項目名稱 | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所離子束刻蝕系統 | ||
| 品目 |
貨物/通用設備/電氣設備/電氣機械設備/電氣物理設備 |
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| 采購單位 | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 | ||
| 行政區域 | 上海市 | 公告時間 | 2021年07月06日 20:12 |
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一、項目基本情況 預算金額：500.0000000 萬元（人民幣） 最高限價（如有）：500.0000000 萬元（人民幣） 采購需求： 針對現代微納加工技術中的金屬及其化合物的物理刻蝕工藝，我們需要一臺套利用Ar離子進行物理刻蝕的離子束刻蝕系統，可適用于最大6英寸晶圓，也適用小樣片。該系統具備較高的刻蝕均勻性，6英寸晶圓范圍內刻蝕不均勻性優于±2%。同時該設備帶有Load lock系統、預真空自動傳輸系統、控制系統與軟件系統。具體詳見招標文件。 合同履行期限：合同簽訂后6個月內 本項目( 不接受 )聯合體投標。 二、申請人的資格要求： 1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定； 2.落實政府采購政策需滿足的資格要求： 節約能源、保護環境、扶持不發達地區和少數民族地區、促進中小企業發展、支持監獄、戒毒企業發展、促進殘疾人就業、優先采購貧困地區農副產品等政府采購政策。 3.本項目的特定資格要求：1）近三年內（本項目招標截止期前）被“信用中國”網站列入失信被執行人和重大稅收違法案件當事人名單的、被“中國政府招標網”網站列入政府招標嚴重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項目；2）單位負責人為同一人或者存在控股、管理關系的不同單位，不得參加同一標包投標或者未劃分標包的同一項目；3) 具有ISO9000同等或以上質量認證體系。 三、 （北京時間，法定節假日除外） 六、其他補充事宜 現場購買：有意向的投標人可攜帶報名表（詳見招標公告附件：購買標書登記表）、營業執照復印件（加蓋公章）、法人代表授權書原件、被授權代表身份證（復印件加蓋公章））至上海市共和新路1301號C座108室進行報名 網上購買：有意向的投標人將報名表（詳見招標公告附件：購買標書登記表）、營業執照掃描件、法定代表人（單位負責人）授權委托書原件、委托代理人身份證明（復印件加蓋公章）的掃描件和購買標書登記表（詳見附件） 招標文件售價：每包件售價人民幣 500 元（招標文件售后不退）。 注：我公司只接受公司轉賬，不接受個人轉賬。 開戶名：上海中招招標 銀行帳號：0208014210004789 摘要：STC21A221標書費或投標保證金 七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯系。 1.采購人信息 名 稱：中國科學院上海微系統與信息技術研究所 2.采購代理機構信息 名 稱：上海中招招標 地 3.項目 電 沒有在 中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后根據招標公告的相應說明獲取招標文件！ 聯系人：李楊 打賞 更多>同類資訊
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