低壓力化學氣相沉積儀項目已具備招標條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物

1.2 招標編號：0779-21400316A022

1.3 設備技術性能：

1.3.1 該爐管設備包含高溫氧化和低壓化學氣相沉積2根水平爐管分別為：干氧化和濕氧化生長氧化硅爐管、可控比氮化硅和低應力氮化硅爐管，同時預留額外2根爐管架構用于工藝升級（分別用于多晶硅和TEOS氧化硅沉積工藝），四根爐管之間的控制相互不受影響，關閉任意一套控制，其它三套不受任何影響；

1.3.2 每根爐管加熱器選用APM加熱元件，最高加熱溫度1300℃；

1.3.3 氧化爐管配置SiC爐管，滿足高溫氧化要求。

1.4 數量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后210天內完成交付驗收。

1.6 項目現場：中國北京海淀（北京長城計量測試技術研究所）安裝現場。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供授權書。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 如有疑問，請致電航空工業電子采購平臺服務熱線400-890-0880。

3.2 招標文件售價800元，售后不退。

3.3 投標人必須在航空工業電子采購平臺電子招投標專區注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業電子采購平臺電子招投標專區相關說明）。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2021年06月07日09時30分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業電子采購平臺電子招投標專區（ /rest/index）并在此時間前現場遞交單獨密封的紙質版投標文件。

4.2 紙質版投標文件遞交地點為 大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

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